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磁控溅射原理及方法 B10060215 材料科学与工程学院王洋 溅射现象:用带有几十电子伏能量的粒子轰击材料表面时,材料将被激发为气态,利用这种现象可以对材料进行表面的镀膜、刻蚀、清洗和表面分析。由于