石英晶振与MEMS技术的结合成为必然趋势

石英晶振与MEMS技术的结合成为必然趋势　　随着射频系统小型化及对晶振抗振性、相位噪声等参数要求越来越高，石英晶体谐振器尺寸进一步减小。微电子机械系统(MEMS)技术利用IC加工技术实现微纳米尺度加工