硅片表面光泽度的测试方法-编制说明

国家标准《硅片表面光泽度的测试方法》编制说明（征求意见稿）一、1.1工作简况标准立项目的和意义硅片表面的光泽度作为评价硅片表面质量的指标之一，逐渐被各半导体厂重视并加以控制。集成电路用大尺寸硅片的后道