材料重点科技项目申报材料

材料重点科技项目申报材料 为加快先进制造、先进材料领域科技发展，提升创新能力，围绕国家和*的中长期科技发展规划、“*”科技发展规划以及《*科技创新行动计划》，开展以应用为导向、以企业为主体的关键

材料重点科技项目申报材料 为加快先进制造、先进材料领域科技发展，提升创新能力， 围绕国家和*的中长期科技发展规划、“*”科技发展规划以及《* 科技创新行动计划》，开展以应用为导向、以企业为主体的关键 技术及产业化研究，*市科学技术委员会特发布本指南。 一、研究目标与内容 专题一、先进制造 面向先进制造业，聚焦集成电路、数控装备、海洋工程与交 通运输等领域，支持具有自主知识产权的关键技术和产业化技术 的开发，实现相关产业核心技术的突破，提升自主创新能力和产 业竞争力。 1、集成电路制造相关装备及材料关键技术研究 研究目标。围绕极大规模集成电路制造相关装备和材料开展 关键技术研究，掌握具有自主知识产权的核心技术，形成工艺装 备的研发应用能力和关键材料的批量生产能力，加快实现工艺装 备和关键材料的国产化。 研究内容。150mm硅片光学薄膜测量设备的研制与应用技术； 前段单晶圆清洗设备的设计制造及清洗成套工艺技术；纳米级精 度定位的三轴平面电机的设计、制造、驱动控制技术及系统集成 技术；基于soi技术的高压器件成套技术和高压soi晶片批量生 产制备技术；年产千吨级的高纯有机化学试剂生产工艺技术；65 第1页 共8页