六自由度纳米工作台驱动控制方法及系统研究的中期报告

六自由度纳米工作台驱动控制方法及系统研究的中期报告这篇中期报告主要介绍了一种六自由度纳米工作台的驱动控制方法及系统的研究进展。首先，文章介绍了六自由度纳米工作台的结构，包括三维直角坐标系和旋转坐标系。