磁控溅射法制备掺杂ZnO功能薄膜材料

材料物理实验报告 实验时间 年 月 日[实验名称] 磁控溅射法制备掺杂ZnO功能薄膜材料 [实验目的]掌握多靶磁控溅射镀膜机的使用方法，利用多靶磁控溅射镀膜机制备掺杂ZnO