silvaco操作指南

第二篇半导体izofi仿真软件Silvaco操作指南主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件Silvaco的基本使用。书中通过例 程引导学习工艺仿真模块Athena和器件仿真模块Atlas,通过这两部分的

izofi 第二篇半导体仿真软件 Silvaco 操作指南 Silvaco 主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件的基本使用。书中通过例程引导学习工 AthenaAtlas, 艺仿真模块和器件仿真模块通过这两部分的学习可以使学习人员深入了解半 导体物理的基本知识，半导体工艺的流程，以及晶体管原理的基本原理，设计过程，器件 的特性。对于学习集成电路的制备及后道工序有一定的帮助。 SILVACO ................................................ 第一章软件介绍 3 1. 3 1 ........................................................... 程序启动 4 1.2 ............................................. 选择一个应用程序例子 1. 6 3 ........................................................... 工艺模拟 6 1.3.1 ................................................... 运行一次模拟 6 1.3.2 .................................................... 渐进学习模拟 6 1.3.3 ....................................................... 绘制结构 7 1.3.4Tonyplol ........................................... 使用进行绘图 1. 7 3.5 .................................................. 修正绘图的外观 8 1.3.6 ............................................ 缩放及在图上进行平移 9 1.3.7 ........................................................ 打印图形 9 1.4History ..................................................... 使用功能 10 1.5 ..... ............................................... 明确存贮状态 10 1.6 ....................................... 创建用于比较的两个结构文件 1.6. 10 1 ..................................................... 存贮文件创建 1.6.2 11 ......................................................... 文件交叠 1. 13 7M0S ........................................ 运行工艺程序的第二部分 1.7. 13 1'StopAt' ....................................................... 功能 1.7.2 14 Tonyplot2-D ........................................... 使用用于结构 14 1.7.3Tonyplot ..................................... 使用来制备一轮廓图 1.7. 16 4 ................................................... 产车交互式图例 17 1.8 ................................................... 工艺参数的抽取 1.8. 18 1 ........................................................ 源漏结深 18 1.8.2 ................................................... 器件阈值电压 1. 18 8.3 ................................................. 电导及偏压曲线 20 1.8.4 ................................................. 一些薄层电阻