不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的光学特性研究

不同沉积温度下非晶硅光学薄膜的光学特性研究1. 引言非晶硅光学薄膜具有广泛的应用前景，例如太阳能电池、光电子设备和液晶显示等领域。非晶硅薄膜的光学性质受到多种因素的影响，其中沉积温度是一个关键因素。本