基于光谱色散线扫描的干涉型纳米表面在线测量原理与实验研究

基于光谱色散线扫描的干涉型纳米表面在线测量原理与实验研究摘要：干涉型纳米表面在线测量是一种基于光谱色散线扫描的技术，可以实现对样品表面形貌、薄膜厚度和光学性质等参数的快速准确测量。本文重点研究了干涉型