Fe和C离子双注入ZnO薄膜结构和物理性质研究

Fe和C离子双注入ZnO薄膜结构和物理性质研究摘要：本文研究了Fe和C离子双注入ZnO薄膜结构和物理性质。使用电子束物理气相沉积法（EB-PVD）在晶体硅衬底上制备了Fe和C离子共注入的ZnO薄膜。利