射频磁控溅射法制备AZOp-Si异质结及其性能研究

射频磁控溅射法制备AZOp-Si异质结及其性能研究引言随着现代电子技术以及材料科学的不断发展，寻求一种可用于高频和光电器件制备的新型材料是一个热门的研究方向。大量的研究表明，氧化铝钇稀土导电薄膜材料在