用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率

用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率一实验目的1、 了解椭圆偏振法的基本原理；2、 学会用椭圆偏振法测量纳米级薄膜的厚度和折射率. 二实验仪器TPY-1型椭圆偏振测厚仪,计算机三实验原理：椭圆偏振测厚技