浅析FFU在电子洁净室的应用

浅析FFU在电子洁净室的应用 摘要：重点阐述了FFU的特点及控制方式，并结合现代电子洁净室对空气洁净度等级的要求；分析了FFU应用在洁净室中的优势，并介绍了FFU在实际工程案例中的应用。　　关键词：F