靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料 靶材的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。目前，高端的靶材朝超大尺寸方向发展