基于电容法的微位移测量技术的研究

基于电容法的微位移测量技术的研究摘要电容法微位移测量技术是一种非接触式的测量技术，具有精度高、分辨率高、响应速度快等优点，广泛应用于微电子、微机械、光电子等领域。本文首先介绍了电容法微位移测量的基本原