冷氢化工艺技术方案成品版修改

冷氢化及热氢化工艺技术比较目前，国内外多晶硅生产企业已投入工业化运行的四氯化硅氢化系统主要有以下两种工艺：热氢化工艺冷氢化工艺上述两种氢化工艺技术特点比较见下表。表1-1 两种氢化工艺比较表热氢化