半导体专用设备的电气控制柜设计研究

半导体专用设备的电气控制柜设计研究    刘强 路文明摘要：半导体专用设备是为了满足半导体制造工艺而开发的专用设备，近些年在多个行业得到了快速发展。而其电气控制柜作为设备的关键组成部分，其设计越来越重