磁过滤阴极弧沉积ta-C薄膜的关键技术及薄膜性能研究的任务书

磁过滤阴极弧沉积ta-C薄膜的关键技术及薄膜性能研究的任务书一、研究背景钛基石墨烯（Ta-Gr）材料是一种具有很好性能的新型材料，具有高强度、高导电性、高热传导性、耐腐蚀性等优点，被广泛应用于电子、机