DLTS技术研究富氮SiO_xN_y薄介质膜的电学特性

DLTS技术研究富氮SiO_xN_y薄介质膜的电学特性DLTS技术研究富氮SiO_xN_y薄介质膜的电学特性摘要富氮SiO_xN_y薄介质膜是一种具有良好电学特性的材料，被广泛应用于微电子器件的制备中