光致抗蚀剂研究进展

光致抗蚀剂研究进展—1上I—jL^ 聃茜: 光致抗蚀剂.是利用光化学反应或辐射 螭 癌 化学反应.使其分子l发生变化或组分改变极性.或造成其分子组成阊的相互作用而产生感光性|主要组成为感光性高分子化合