硅晶片超精密加工的研究现状

硅晶片超精密加工的研究现状闫占辉（长春工程学院机械工程系，长春 130012）摘要：归纳总结了硅晶片的加工原理、加工方法和加工设备，分析了硅晶片超精密加工的研究现状，并对硅晶片超精密加工的发展趋势和今