膜厚均匀性测试

膜厚均匀性测试  采用真空度 0.5Pa，溅射电流0.3A 进行膜厚均匀性测试，测试点和盘间距如下图  （1）d=114mm，溅射时间 100min，膜厚非均匀性为 17.7%，平均溅 射速率为43.