硅基应变材料生长动力学与缺陷控制研究的开题报告

硅基应变材料生长动力学与缺陷控制研究的开题报告1. 研究背景与意义硅基应变材料是一种可用于半导体器件中的重要材料，在微电子、光电子、能源等领域具有广泛应用。硅基应变材料的性能优化可以通过引入应变来实现