第三章溅射薄膜制备技术

- 第一节、基本概念 - 1、溅射镀膜的定义：高能离子在电场作用下高速轰击阴极（靶），经过能量交换与转移，靶材粒子飞离出来， 淀积在基板上形成薄膜。 -