电子显微镜讲稿-Haishan-Wenb

第五章 扫描电子显微镜5.1扫描电子显微镜简介扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜。1952年，英国工程师Ch