MEMS主要工艺类型与流程

衿MEMS的主要工艺类型与流程芄（LIGA技术简介）蚁袁目录罿〇、引言蚅一、什么是MEMS技术莃1、MEMS的定义蚀2、MEMS研究的历史肈3、MEMS技术的研究现状肆二、MEMS技术的主要工艺与流程