国外半导体设备现状与发展趋势

国外半导体设备现状与发展趋势童志义中国电子科技集团公司第四十五研究所 北京东燕郊 065201摘要：概述了国外半导体制造设备技术现状、结合国际半导体技术发展路线，探讨了半导体制造设备的技术发展趋势