磁控溅射VAlTiCrSi高熵合金薄膜组织及性能的研究

磁控溅射VAlTiCrSi高熵合金薄膜组织及性能的研究磁控溅射VAlTiCrSi高熵合金薄膜组织及性能研究摘要：高熵合金是一种由多种元素合成的合金，其具有优异的力学性能和热稳定性，在材料领域具有广泛应