薄膜制备的真空技术基础

- 第一章 薄膜制备的真空技术基础 - 大部分的现代薄膜材料制备都是在真空或是较低的气压下进行的，都涉及到气相的产生、输运以及反应的过程。因此，这一章中，我们先对有关气体的基本