晶圆探针卡的分类及设计参数

晶圆探针卡的分类及设计参数 　　摘 要：晶圆探针卡是半导体在制造晶圆阶段的重要测试分析接口，通过连接测试机和芯片传输信号对芯片参数进行测试。本文在介绍探针卡定义及分类基础上，详细说明探针卡的主要设计参