高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究

高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究高迁移率非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管的制备与特性研究摘要：本文以高迁移率非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）薄膜晶体管为研究对象，通过磁控溅射法制备晶体管样