利用原子层沉积方法制备硅基MOS器件研究的任务书

利用原子层沉积方法制备硅基MOS器件研究的任务书1. 研究背景随着半导体工艺和器件技术的不断进步，微电子器件已成为现代科技的重要组成部分。而MOS器件作为现代工艺的基础单元，其性能对整个半导体工艺和器