薄膜物理CH溅射镀膜公开课获奖课件省赛课一等奖课件

- Ch.3 溅射镀膜技术 - 溅射镀膜是利用气体放电产生旳正离子在电场作用下高速轰击阴极靶，使靶材中旳原子（或分子）逸出而淀积到被镀衬底（或工件）旳表面，形成所需要旳薄