铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究

铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究铝钽合金薄膜热稳定性及其中功率衰减器的研究摘要：铝钽合金薄膜作为一种重要的材料应用于微波器件中，对其热稳定性和功率衰减器的性能进行深入研究具有重要的理论意义和