2keV镓离子轰击单晶硅基底碰撞过程的分子动力学模拟研究

2keV镓离子轰击单晶硅基底碰撞过程的分子动力学模拟研究随着科学技术的不断发展，材料科学正在迅速发展。分子动力学(MD)模拟技术被成功应用于材料学的研究。其中，常见的模拟对象包括单晶硅等半导体材料。本