多片式热壁MOCVD反应器的设计与数值模拟分析

多片式热壁MOCVD反应器的设计与数值模拟分析多片式热壁MOCVD反应器的设计与数值模拟分析概述金属有机化学气相沉积（MOCVD）是一种广泛用于半导体器件制造的技术。多片式热壁MOCVD反应器是一种有