2022化学气相沉积技术在环境科学中探讨

化学气相沉积技术在环境科学中探讨　　摘 要： 论述化学气相沉积技术（CVD）的基本原理、特点和在其基础上发展起来的几种具有广泛应用前景的CVD新技术，并分析比较它们发展的基础及存在的不足，旨在探讨