利用PECVD技术来提高晶体硅太阳能电池生产

利用PECVD技术来提高晶体硅太阳能电池生产 一引言 为了提高晶体硅太阳能电池的效率,通常需要减少太阳电池正表面的反射,还需要对晶体硅表面进行钝化处理,以降低表面缺陷对于少数载流子的复合作用。 硅的折