（工作分析）电子探针分析方法结构与工作原理

（工作分析）电子探针分析方法结构与工作原理电子探针电子探针所谓电子探针是指用聚焦很细的电子束照射要检测的样品表面，用 X 射线分光谱仪测量其产生的特征 X 射线的波长和强度。由于电子束照射面积很小，因