2021年度光刻和刻蚀工艺讲义

- 图形曝光与刻蚀 - 图形曝光（lithography，又译光刻术）利用掩膜版（mask）上的几何图形，通过光化学反应，将图案转移到覆盖在半导体晶片上的感光薄膜层上（称为光致