洁净度等级的划分标准与比较

洁净度等级标准洁净度等级标准 ISO 14644 根据悬浮粒子浓度这个唯一指标来划分洁净室（区）及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限值（低限）在 0.1um～ 5.0um 范围内呈累积分