AuSi体系离子束混合层的透射电镜研究

AuSi体系离子束混合层的透射电镜研究标题：AuSi体系离子束混合层的透射电镜研究摘要：离子束混合层技术被广泛应用于半导体器件和纳米材料的制备过程中。本文以AuSi体系为研究对象，通过透射电镜技术对离