过渡金属掺杂TiN薄膜的制备及性能研究

过渡金属掺杂TiN薄膜的制备及性能研究过渡金属掺杂TiN薄膜的制备及性能研究摘要：本文主要研究了过渡金属掺杂对TiN薄膜的制备与性能的影响。通过热蒸发法制备了一系列过渡金属掺杂的TiN薄膜，并对其表面