脉冲阴极弧放电制备纳米薄膜的研究

脉冲阴极弧放电制备纳米薄膜的研究摘要本文研究以脉冲阴极弧放电作为制备纳米薄膜的方法，通过调整脉冲宽度和频率，控制纳米薄膜的成核和生长，最终得到了具有优异性能的纳米薄膜。在本文中，我们详细探讨了脉冲阴极