基于原子层淀积高κ介质调制肖特基势垒的研究

基于原子层淀积高κ介质调制肖特基势垒的研究摘要在半导体器件中，肖特基势垒是一个重要的概念，可用于控制电子的流动和器件性能。本文介绍了原子层淀积高κ介质调制肖特基势垒的研究进展。首先，介绍了肖特基势垒的