用于45nm及以下集成电路工艺的高介电常数绝缘栅材料.pdf

维普资讯 http://www.cqvip.com67 6 无 机 材 料 学 报且 随 着 Cr含 量 的 增 加 ，磁 性 增 强2 3卷2 0 0 4， 84 ( 2) ：7 5 6 — 7 5