微机电系统综述

微机电系统综述摘要：微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集中了当今科学技术发 展的许多尖端成果，在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军丁•等