ITO 溅射靶材国内外研究状况

材
料
开
发
与
应
用文章编号年
月


溅射靶材国内外研究状况张智强中国船舶重工 集团公司第七二五研究所 河南 洛阳
摘
要 本文综述了性能、国外制造关键词靶材