电弧源薄膜制备磁过滤系统电磁场模块调整的研究

电弧源薄膜制备磁过滤系统电磁场模块调整的研究电弧源薄膜制备磁过滤系统电磁场模块调整的研究摘要：电弧源薄膜制备磁过滤系统是一种常用的表面处理技术，其电磁场模块的调整对于实现高质量薄膜制备具有重要作用。本