低介电常数材料论文

低介电常数材料的特点、分类及应用 胡扬 摘要: 本文先介绍了低介电常数材料(Low k Materials)的特点、分类及其 在集成电路工艺中的应用。指出了应用低介电常数材料的必然性,举例说明了低介电